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納米級空化技術：日本Nalex ALBA-SONIC超聲波清洗機的精密清洗革命

發布時間： 2025-11-13　　點擊次數： 7次

當精密制造進入“納米時代"，傳統顆粒度指標已從“微米級"下探至“百納米級"，常規超聲空化因氣泡尺寸過大、能量分布不均，難以去除亞微米-納米顆粒，且易造成表面微損傷。日本Nalex公司推出的ALBA-SONIC系列，通過“納米級空化"核心算法與硬件重構，實現氣泡直徑<200 nm、沖擊壓力可調，一舉打破“清潔度-損傷度"不可兼得的魔，正在半導體、光通訊、車載鏡頭等產線掀起精密清洗革命。
一、核心原理：把空化氣泡做到納米級
高頻-超高頻復合
ALBA-SONIC采用1.2 MHz主頻+2.4 MHz邊帶的“雙頻耦合"模式，高頻端在液體中形成過飽和聲壓，空化閾值提高，氣泡半徑R與頻率f成反比，理論直徑縮減至150–200 nm，可深入0.1 µm溝槽，對30 nm SiO?顆粒的去除率>99 %。
脈寬-間隙納米調控
通過10–100 ns級脈寬調制，使氣泡在“初生-坍縮"周期內釋放的局部能量<0.1 pJ，僅為傳統40 kHz空化的1/500，實現“軟剝離"，避免High-k柵介電層微裂紋。
納米顆粒協同
槽液預混0.005 wt% PEG修飾SiO?納米球，其表面Zeta電位-40 mV，可吸附污染物并作為“二次空化核"，在1 MHz場中同步共振，提升納米顆粒捕獲概率2.3倍。
二、硬件架構：三通道相位控制+石英沉浸式換能器
三通道獨立功放，相位差0–120°連續可調，可生成行波/駐波/渦旋波三場模式，消除清洗盲區；
6 mm厚熔融石英沉浸式振板，聲阻抗接近水，電聲轉換效率>92%，表面鍍ITO透明導電層，實現“可視化空化"監控；
真空脫氣+恒溫±0.2 ℃閉環，確保液體含氧量<1 ppm，抑制氣泡合并，維持納米空化穩定。
三、工藝驗證超聲波清洗機
12英寸CMP后晶圓
傳統兆聲清洗后0.12 µm顆粒殘留58顆，引入ALBA-SONIC 90 s清洗后降至3顆，滿足先進制程<10顆/片要求，表面粗糙度Ra增量<0.01 nm。
光通訊FA光纖端面
1.2 MHz行波模式去除亞微米Al?O?磨粒，端面激光回損由-45 dB降至-55 dB，器件插損合格率提升8%。
車載玻璃非球面鏡頭
2.4 MHz駐波+納米SiO?協同，對指紋-油膜混合污染一次洗凈，水滴角<5°，鍍膜前表面能達72 mN·m?1，膜層附著力提高15%。
四、智能控制與數據追溯
7寸觸控屏實時顯示空化強度指數、顆粒去除率曲線，支持SECS-GEM協議，可與MES對接；
內置AI異常識別：當空化強度突降>10%，自動報警并提示換能器老化或液體過飽和；
日志文件自動生成CSV，含時間、頻率、功率、顆粒計數，滿足FDA 21 CFR Part 11電子記錄要求。
五、應用前景
隨著3D NAND、GAA、Chiplet等微納結構縱深比持續增大，ALBA-SONIC的納米級空化技術有望從晶圓級擴展到先進封裝、微光學、MEMS等領域，成為“后摩爾時代"超精密清洗的新基準

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